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三氟化氮特种气体在国内投产

来源:http://www.gycolors.com 发布时间:2012-11-24 9:29:20
 11月20日,由韩国奥瑟亚(OCI)集团所属奥瑟亚新材料公司投资建设的江苏奥瑟亚新材料科技有限公司三氟化氮(NF3)特种气体项目,在镇江经济技术开发区竣工投产。该项目总投资9250万美元,总产能1500吨/年,其中一期项目产能为1000吨/年。
    
    目前奥瑟亚新材料公司在韩国拥有6500吨/年三氟化氮产能,此次在华新建1500吨/年装置,将使奥瑟亚全球产能达8000吨/年,巩固了奥瑟亚三氟化氮全球第一的地位。
    
    据介绍,三氟化氮是半导体和微电子工业中一种优良的等离子刻蚀气体和清洁剂,应用于半导体芯片、平板显示器、激光技术、光导纤维和太阳能电池等领域。因中国半导体和液晶面板生产的迅速增长,海外生产巨头如三星、海力士等纷纷在华投资建厂,对三氟化氮特种气体的需求也迅速上升。随着江苏奥瑟亚新材料公司的投产,国内半导体和液晶面板公司不再需要进口三氟化氮特种气体。